MEMS 振鏡
高性能、超(chāo)緊湊型電磁驅動激光(guāng)掃(sǎo)描微振鏡(MEMS mirror)
S12237-03P是一個融合了我司獨(dú)特的MEMS工藝的電磁驅動振鏡。通過在振鏡下嵌入磁石來實現超小的尺寸。伴隨這磁(cí)石發出的磁場,電(diàn)流流動成線圈狀環繞振鏡,基於弗萊明(Fleming)的(de)左手定論,產生(shēng)的洛倫(lún)茲(zī)力(lì)(Lorentz force)將驅動振鏡。濱(bīn)鬆MEMS mirror可提供較寬的光偏轉角,且隻需低功(gōng)耗(hào)便可獲得較高的鏡麵(miàn)反射率。