S13989-01H是(shì)電磁驅(qū)動振鏡,結合了我們(men)獨特的MEMS(微機電係統)技術。 通過將磁鐵(tiě)布置在振鏡下方,可以(yǐ)使設備占地空間更小。 通過采用氣密密封包(bāo)裝,可(kě)實(shí)現高(gāo)可靠性。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據弗萊明定律驅(qū)動振鏡產生洛倫茲(zī)力。 濱鬆MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉角和高(gāo)反射鏡(jìng)反射率。
| 類型 | For 2-dimensional scan |
| 掃描模式(shì) | 2-axis raster scan |
| 運行模式(shì) | Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode |
| 振(zhèn)鏡尺寸 | φ1.23 mm |
| 振鏡材料(liào) | Aluminium |
| 光學偏轉角 | Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 ° |
| 驅動頻率(最大值) | Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz |
