產品中(zhōng)心
MEMS 振鏡
微型,高性能,電磁驅動的二維激光掃描MEMS振鏡
S13989-01H是電磁驅動振鏡,結合了我們獨特的MEMS(微機電係統)技術。 通過將磁鐵布(bù)置在振鏡下方,可以(yǐ)使設備占地空間更(gèng)小。 通過采用氣密密封包裝,可實現高可靠性。 振鏡周圍(wéi)的線圈中流(liú)動(dòng)的(de)電流(liú)根據弗萊明定(dìng)律驅動振鏡產生洛倫茲力。 濱(bīn)鬆MEMS反射振鏡具有大的光學偏轉角和高(gāo)反射鏡反射率。
產品(pǐn)特點
· 低電流運行
· 超小型尺寸
· 較大的(de)光學(xué)偏轉角
典型應用
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產品介紹
微型,高性能,電磁驅動的二維激(jī)光(guāng)掃描MEMS振鏡

S13989-01H是(shì)電磁驅(qū)動振鏡,結合了我們(men)獨特的MEMS(微機電係統)技術。 通過將磁鐵(tiě)布置在振鏡下方,可以(yǐ)使設備占地空間更小。 通過采用氣密密封包(bāo)裝,可(kě)實(shí)現高(gāo)可靠性。 振鏡周圍的線圈中流動的電流根據弗萊明定律驅(qū)動振鏡產生洛倫茲(zī)力。 濱鬆MEMS反射振鏡具有大的光學(xué)偏轉角和高(gāo)反射鏡(jìng)反射率。

產品型號及主要指標

類型 For 2-dimensional scan
掃描模式(shì) 2-axis raster scan
運行模式(shì) Fast axis: Non-linear mode (resonant mode) Slow axis: Linear mode
振(zhèn)鏡尺寸 φ1.23 mm
振鏡材料(liào) Aluminium
光學偏轉角 Fast axis: ±20° Slow axis: ±12 °
驅動頻率(最大值) Fast axis: 29.3 kHz (typ.) Slow axis: 100 Hz


外形尺寸圖(單位:mm)

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