EQ-10采用了（le）升級版的無（wú）電極Z-pinch™技術，具有緊湊易（yì）用，高可靠性以及低成本等特點非常適用於測量以及研究等應用領域。該款光源已經在全球交付30多台，均得到客戶的一致好評，現已經成為EUV用戶的主要（yào）光源來（lái）源。
為了滿足不同應用的使用需求，該產品在（zài）使用（yòng）上（shàng）進行了如下的優化，以（yǐ）期更（gèng）加地用（yòng）戶友好：1、用（yòng）戶可以根據對峰值功率（lǜ）和峰值亮度的不（bú）同來調節EUV的光輸出。2、在典型操作（zuò）中，等離子體的直徑通常小於1mm。3、係統外側留有光學接口，方便（biàn）客戶進行應用程序設（shè）備的連接。4、自定義彩色用戶頁麵，客戶可跟（gēn）根據（jù）需求選擇手動或者自（zì）動菜單。
