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用於HVM的EUV光源（yuán）的一大優勢（shì）就在於可以在10 kHz或更高的（de）脈衝重複頻率下運行。光源本身具有小（xiǎo）型（xíng）緊湊成本低且用戶友好等特點（diǎn），加（jiā）之采用Z-pinch™技術，非常適（shì）用於計量以及（jí）研究等應（yīng）用。
為了滿足不同（tóng）應用的使（shǐ）用需求，該產品在使用上進行（háng）了如下的優化，以期（qī）更加地用戶友好：1、用戶可以根據對峰值功（gōng）率和（hé）峰值亮度的不同來調節EUV的光輸（shū）出。2、在典（diǎn）型操作中，等離子體的直徑通常小於1mm。3、係統外側留有（yǒu）光學接口，方便客戶進行應用程序（xù）設備的連接。4、自定義彩色用戶頁麵，客戶可（kě）跟根據需求選擇手（shǒu）動或者自動菜單。
