用於HVM的EUV光源的一大優勢就在於可以在10 kHz或更高的脈衝重複頻率下運行。光源本身（shēn）具有（yǒu）小型緊湊成本低且用戶友好等特點，加之采用（yòng）Z-pinch™技術，非常適用於計量（liàng）以及研究等應用（yòng）。
EQ-10HR是一個完全獨立（lì）的係（xì）統，可以集成（chéng）到其他設備中，該係（xì）統內部（bù）包括無電極Z-pinch光源（yuán）組件、磁懸浮真空泵（bèng）子係統、氣體輸送子係統，功（gōng）率輸送子係統和電子控製設備。EQ-10HR能夠將高達0.5 mJ /脈衝的寬帶EUV傳（chuán）輸到2pi球麵度中，並且（qiě）將以最高10 kHz的脈衝重（chóng）複頻率連續運行。
為了滿足不同應用的使用需求，該產品（pǐn）在使用上進（jìn）行了如下的優化，以期更加地（dì）用戶友好：1、用（yòng）戶可（kě）以根據對峰值（zhí）功率和峰值亮度的不同來（lái）調節EUV的光輸（shū）出。2、在典型操作中，等離子體的直徑通常小（xiǎo）於1mm。3、係統外側留（liú）有光學接口，方便客戶進行應用程序（xù）設備的（de）連接（jiē）。4、自定義彩色用戶頁麵，客戶可跟根據需求選擇手動或者自（zì）動菜單。
