直徑高達2.4毫（háo）米（mǐ）的集成MEMS振（zhèn）鏡是單片製造的，作為無萬向節執行器設備結構的集成部分。它們是矽芯片的中（zhōng）心區域，與周圍（wéi）的靜電致動器共享相同的微細加工步驟。這些鏡子（zǐ）由相同的可用矽層構成，具有幾乎完全平（píng）坦和光滑的矽表麵（miàn）。在四（sì）個側麵，鏡子連（lián）接到提供（gòng）兩軸運（yùn）動的雙軸連杆。自2016年以來，我們不斷（duàn）庫存具有以下直徑的集成（chéng）反射（shè）鏡的設（shè）備：0.8毫米、1.2毫米（mǐ）、2.0毫米和2.4毫米。所有庫存的集成反射（shè）鏡都塗有純鋁，可在非（fēi）常寬的波長範圍內提供（gòng）高反射率。金（jīn）金屬化可以在晶圓（yuán）規模上進行，因此可用於（yú）更大的生產（chǎn）訂單。

鏡子尺寸：0.8毫米、1.2毫米、1.6毫米、2.0毫米和2.4毫（háo）米直徑庫存。

點對點驅動下的最大傾斜角（jiǎo）：-6°至+6°機械每個軸，因（yīn）設計類型而異。

共振驅動下的最大傾角：-7°至+7°機械

單（dān）軸（zhóu）選項：大多數設計（jì）都可以提供純單軸運動。

表麵粗糙（cāo）度：<10 nm rms

驅動方法：靜電（diàn）驅動，使（shǐ）用Mirrorcle的偏置差分四通道MEMS驅動（dòng）器

鏡（jìng）麵曲率半徑（jìng）：>5 m

鏡麵塗層：鋁或金

位置重複性：室溫下優於0.001°（1毫（háo）度）

工作溫度：MEMS Mirror工作溫度：-40°C至125°C（具體產品規格取決（jué）於封裝）

光學窗口：抗反射（shè）塗層熔融（róng）石英窗（chuāng）口。可（kě）拆卸的。

A型：熔（róng）融石英(20/10)，0.5mm厚，400nm – 675nm雙麵（miàn）增透膜，AOI 22.5°

B型：熔融石（shí）英（20/10），0.5mm厚，675nm - 1040nm雙麵增透膜，AOI 22.5°

C型：熔融石英(20/10)，0.5mm厚，1040nm – 1600nm雙（shuāng）麵增透（tòu）膜，AOI 22.5°

*客（kè）戶特定波長和AOI可用於100件以上的數量。

光功率處理：高達2W任何鏡子，任何波長。2W以上取決於反射鏡尺寸、鍍膜和波長。例如。3W CW藍色或（huò）綠色（sè）在2毫米（mǐ）或更（gèng）大的鏡子上。

第一共振旋轉頻（pín）率：對於小鏡子尺寸的兩個軸>3 kHz，對於2.0mm尺寸的>1.2kHz等（děng）。

傾斜角是模擬的，而不是開關

這是不能用於任意方向光束（shù）控製的（de）數（shù）字微鏡元件（jiàn）的關鍵區別。換句話說，如果需要6.15°的傾（qīng）斜角，隻需施加正確的電（diàn）壓，即可獲得（dé）該角度（或任何其他角度）並將其保持任何時（shí）間長度，而功耗幾乎為（wéi）零。

點對點掃（sǎo）描（miáo）

這些設（shè）備針對點對點光束掃描（miáo）操（cāo）作模式進行了設計和優化。穩態模擬驅（qū）動電（diàn）壓導致微鏡的穩態模擬旋轉角（jiǎo）。電（diàn）壓和角度之間存（cún）在一一對應的（de）高度可重複性。還（hái）提（tí）供（gòng）了許多諧振（zhèn）型掃描（miáo）MEMS反射鏡設（shè）計，用於（yú）視頻投影和高（gāo）速成（chéng）像，例如（rú）48000行/秒。

動態模式掃描

設備還可以在動態、諧振模式下運行。在這種模式下，接近共振頻率的低驅動電（diàn）壓會導致較大（dà）的雙向光束角（例如-16°到16°）。 對於MEMS顯示器應用，諧振頻率範圍從幾kHz到24 kHz甚至（zhì）更高。 共振取決於致動（dòng）器（qì）類型（係列）以及微鏡類型和（hé）直徑。

高速點對點光束掃描

我們專有的無雲台設計的主要優勢是能夠在兩個軸上（shàng）以（yǐ）同樣高的速（sù）度掃（sǎo）描光束。具有0.8 mm直徑大（dà）小的微鏡的典（diǎn）型設備可實現高達500 rad/s的角光（guāng）束掃描，並且（qiě）在兩個軸上的第一諧振頻率約（yuē）為4 kHz。<100 µs的大角度階躍響應建立時間已（yǐ）在具有直徑（jìng）達0.8 mm的微鏡的設（shè）備上得到（dào）證明。 具有2.0毫米直徑反射鏡的設備可以實現小（xiǎo）於1毫（háo）秒的（de）大角度步進穩定時間，第一諧振頻率約為1.3 kHz。

模塊化設計

為了生（shēng）產具有不同（tóng）鏡麵尺（chǐ）寸的設備，大多數技術不僅需要新的製造周期，而且在（zài）某（mǒu）些情況下還需要完成致動器的重新設計。Mirrorcle Technologies是全球唯一一家提供基於MEMS的可定製孔徑尺（chǐ）寸光束控製技術的供應商（shāng）。 即，在自對準矽製（zhì）造工藝中設（shè）計和實現了針對速度、角度、麵積足跡或諧振（zhèn）驅（qū）動優化的靜電致動器（qì）組。 金屬化、超低慣（guàn）性單晶鏡（jìng）通過特殊的矽梁設計而變得堅硬和平坦，是在單（dān）獨的製造過（guò）程中創建的。 反射鏡的直徑和幾何形狀是針對給定應用（yòng）選擇的，以優化速度、光束尺寸和掃（sǎo）描角度之間的權衡。 隨（suí）後將鏡子粘合（hé）到致動器上。

有多種無萬向節（jiē）兩軸致動器設計可供選擇。執行器本身就（jiù）適用於模塊化設（shè）計方法。每個致動器可以使（shǐ）用任意長度的旋轉（zhuǎn）器、任意剛性連杆（gǎn）和任意定位的機械旋轉變壓器。庫存類別包括4.25mm x 4.25mm芯片尺寸、5.2mm x 5.2mm芯片尺寸和7.25mm x 7.25mm芯片尺寸。 在（zài）大多（duō）數情況下，由於增加的靜電力，較大的芯片尺寸可以提供（gòng）更好的性能。 除了芯片尺（chǐ）寸之外，其他參數也有所不同，例如 剛性。 例如，一個設備係列設計為在大角度（-7.5°到+7.5°機（jī）械傾（qīng）斜）下運行，而另一個係列設計為（wéi）在小尖端傾斜角（jiǎo）度但顯著更高（gāo）的速（sù）度下運行（-1.0°到+1.0°機械傾斜）。